近日,泾河新城入区企业西安聚能超导磁体科技股份有限公司自主研发制造的国内首台超大内径磁控直拉单晶硅水平场超导磁体完成海外交付,标志着我国大尺寸半导体超导磁体核心技术实现突破性输出,高端装备制造国际竞争力持续凸显。
据介绍,超导磁体在相同电流和线圈匝数下,内径越大,中心磁场强度越难以提升。此次成功研制的超导磁体在实现1800毫米超大内径的同时,水平方向中心磁场强度仍能达到4200高斯,再次实现了技术上的双重突破。同时,超导磁体采用特种电磁设计与工艺优化。该超导磁体具备近磁体、漏磁极低的优势,自2011年成立以来,长期深耕磁控直拉单晶硅MCC用超导磁体领域,积累了深厚的技术底蕴。
目前,全系列8寸、12寸磁控直拉单晶硅用MCC超导磁体实现批量化制造。本次产品在内径和场强上的再次技术突破,进一步夯实了我国在大尺寸MCC超导磁体领域的技术自主能力,有力支撑我国半导体级大硅片核心装备的自主制造能力建设,也为中国超导技术产业化开辟了更为广阔的应用空间,展现了我国在高端装备制造领域从跟跑到并跑甚至领跑的技术自信。
企业副总经理马鹏表示: “我们将依托西安在科技创新和产业配套相关优势,做好产业链协同,在服务好国内客户的基础上,积极拓展亚太、欧洲等海外市场,让西安制造的高端装备服务产业的高质量发展。”
该磁体成功破解了行业内磁体内部空间与磁场强度难以兼顾的核心技术难题,在拥有超大内空间的同时,实现了高磁场强度,且有效控制了磁体外的漏磁水平,既显著提升了拉晶车间的运行安全性,又提高了空间利用效率,成为支撑半导体大硅片高效稳定生产的可靠核心装备。该产品的成功交付,进一步拓宽了我市企业的国际市场版图,为西安高端装备制造走出去奠定了坚实基础。



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